材料分析｜ユーロフィンEAG

ユーロフィンEAG｜EAG Laboratories でデザインした表面分析手法のチャートです。一目で各種表面分析の手法、分析領域と検出加減の関係がわかります。

ユーロフィンEAGで取り扱っている分析サービス一覧です。弊社では、SIMS（二次イオン質量分析法）・TEM/STEM（透過型電子顕微鏡分析）・GDMS（グロー放電質量分析法）を中心に100種類以上の分析／試験を取り扱っています。

高分解能/組成分析が可能な電子顕微鏡分析である、TEM/STEM（透過電子顕微鏡）・SEM/FIB-SEM（走査電子顕顕微鏡）や3D-APT（アトムプローブ）など、高度な顕微鏡技術を用いた微小領域 / 形態分析です。

SIMS（二次イオン質量分析法）はH元素を含めた全元素を超高感度感度で分析ができる手法です。弊社ではSIMSとEAG Laboratoriesが開発した化合物半導体の分析に最適なPCOR-SIMSのサービスを展開しています。

最表面・薄膜・深さ方向・結晶性/構造評価・有機/金属汚染の分析サービスです。XPS/ESCA （X線光電子分光法）を用いた表面の元素 / 結合状態の分析、AES（オージェ電子分光法）でのウエハーのコンタミ分析などを実施しています。

バルク材料・液体の純度分析です。GDMS（グロー放電質量分析）とIGA（ガス成分分析）組み合わせることで微量成分のすべての元素を分析することができます。

半導体やエレクトロニクス部品 / 製品の故障解析や外部購入部品の良品解析です。非破壊検査装置（三次元X線CT・透過装置・超音波探傷）、TEM・SEMといった電子顕微鏡を用いて不具合や故障箇所を特定し、原因究明までサポートします。

半導体デバイス、エレクトロニクスデバイス/製品の信頼性評価・環境試験を実施いたします。国内ラボには100台以上の恒温恒湿層・温度サイクル試験層など各種試験層を多数取り揃えています。

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