【ユーロフィンEAG x ブルカー 共催】半導体分析技術オンラインセミナーのご案内
この度、以下ウェビナーを開催いたしますのでご案内申し上げます。
皆様のご参加お待ちしております。
日時 2024年10月11日(金) 13:30～14:55 (13:15ログイン受付開始)
参加費 無料
講演内容 【ユーロフィンEAG x ブルカー 共催】半導体分析技術オンラインセミナー
セミナー詳細 https://www.bruker-nano.jp/semi
事前登録 https://register.gotowebinar.com/register/3282577012699312476?source=bruker-nano.jp
■ ABOUT
この度、【ユーロフィンEAGｘブルカージャパン ナノ表面計測事業部共催】にて半導体デバイスや材料の解析のための分析技術セミナーを開催することとなりました。ユーロフィンイーエージー株式会社からは、TEM、SIMS、3D-APTなどの分析技術を用いた事例や最新の技術動向をご紹介いたします。また、ブルカージャパン株式会社からは、AFM（原子間力顕微鏡）を用いた解析技術や、10 nmの微小異物を検出可能なナノ赤外分光装置「Dimension IconIR」について紹介いたします。
■ プログラム
13:30～13:35 オープニング
13:35～14:05 『半導体解析におけるTEM/SIMS/3D-APT分析技術のご紹介』
ユーロフィンイーエージーは主に半導体デバイス・材料・製造プロセス開発で必要なSIMS（二次イオン質量分析）やTEM（透過型電子顕微鏡）の受託サービス企業として約50年間お客様の課題解決に貢献してきました。近年は特にAC-(S)TEMを使用した高分解能観察、EDS/EELSを使用した元素マッピング、さらに3D-APTを使用した3次元での元素情報の取得などの、半導体の分野に欠かせないナノメートルオーダーでの評価技術開発に注力してきました。セミナーでは、TEM分析を中心に、SIMS分析や3D-APT分析の事例を交えながら、最新のNano-IRを含む、EAGの各種分析技術のご紹介をいたします。
ユーロフィンイーエージー株式会社
テクニカルサポート
渡部 秀敏
14:05～14:25 『AFMを用いた半導体解析技術』
半導体やパワー半導体はスマートフォンやパソコンなどの一般向け商品から、電気自動車や電車などの電力制御に使用されています。
本講演ではナノオーダーで解析可能な原子間力顕微鏡（AFM）を用いて半導体およびパワー半導体材料の形状評価から電気特性を評価した事例を紹介します。
ブルカージャパン株式会社
ナノ表面計測事業部 アプリケーション部
寺山 剛司 様
14:25～14:45 『10 nm の微小異物が分かる - 半導体向けナノ赤外分光装置Dimension IconIR –』
Dimension IconIRは、AFM業界をリードするBrukerのDimension Iconに、10 nm空間分解能を誇るnanoIRの赤外分光能を付与した新しい表面解析システムです。ウェハやデバイス上のナノサイズの異物分析・故障解析など様々なナノ化学構造分析に対応します。IconIRには300 mm ウェーハ対応機種や、フォトマスク用の専用アタッチメント等も存在し、また、多様なAFM測定モードによる多角的な表面ナノ分析および、KLARFファイルを介した分析装置間の連携による高度なデバイス分析など様々な分析アプリケーションに対応可能です。
ブルカージャパン株式会社
ナノ表面計測事業部 アプリケーション部
横川 雅俊 様
※ 内容は一部変更となる可能性があります。
