TEM-PED｜プリセッション電子線回折分析
分析概略
TEM-PED（TEM-Precession Electron Diffraction：プリセッション電子線回折分析）とはTEMを用いた微小範囲の結晶方位解析です。従来のXRDやEBSDとの違いは、ナノスケールで個々の結晶構造を解析することができます（EBSDの空間分解能は約100nmですが、PEDは10nm以下の個々の結晶方位まで分析ができます）。
対象分野
半導体・エレクトロニクス・自動車・航空宇宙・鉄鋼・先端材料・エネルギー・メディカルデバイス
対象試料の事例
- 半導体のナノスケール領域
- 金属・合金
- セラミックス
- 磁性材料
用途事例
- 結晶粒の面方位分析・測定
- 結晶解析・結晶性評価
- 配向測定
- 双晶（粒界）評価
原理/特徴
- 結晶方位解析
- 結晶の形状（角度による粒界の定義）
- 結晶粒の相関角度・回転軸・測定
- 結晶粒径分布の測定
- 結晶方位マップ（グレインサイズ・集合組織・結晶相の識別と分布・ひずみ解析・結晶粒界解析）
- 結晶方位情報：極点図・逆極点図
比較：ESBDとXRDとPED
| EBSD | XRD | PED |
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分析事例
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PED：SOC（システム・オン・チップ、7nm EUV露光）の微小領域である金属ラインの粒径分布・結晶方位 |
PED：同試料・金属ラインの極点図（Cu） |
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