SEM-EDS|走査型電子顕微鏡・元素分析
分析概略
SEMを用いたEDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy:エネルギー分散型X線分析)では試料表面の元素情報を獲得することができます。
*各分析手法の分析深さはSMART Chartからご覧いただけます。
対応分野
半導体・エレクトロニクス・自動車・航空宇宙・鉄鋼・先端材料・エネルギー・メディカルデバイス
対象試料の事例
- Ⅲ-Ⅴ・GaN系薄膜・ デバイスの断面構造観察及び元素分析
- Si系薄膜・ デバイスの断面構造観察及び元素分析
- その他各種固体材料の形態・構造観察
- 電子部品の故障解析
原理/特徴
EDSは試料に電子線が照射された際に発生した特性X線の電子エネルギーから元素と濃度を分析する手法です。
- 元素分析(ポイント、ライン、マッピング分析)
分析事例
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SEM-EDS:鉛とスズのマッピング・スペクトル分析 |
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