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Services >> Advanced Microscopy >> SEM-EDS

SEM-EDS|走査型電子顕微鏡・元素分析

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分析概略


SEMを用いたEDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy:エネルギー分散型X線分析)では試料表面の元素情報を獲得することができます。

*各分析手法の分析深さSMART Chartからご覧いただけます。

対応分野


半導体・エレクトロニクス・自動車・航空宇宙・鉄鋼・先端材料・エネルギー・メディカルデバイス

対象試料の事例


  • Ⅲ-Ⅴ・GaN系薄膜・ デバイスの断面構造観察及び元素分析
  • Si系薄膜・ デバイスの断面構造観察及び元素分析
  • その他各種固体材料の形態・構造観察
  • 電子部品の故障解析

原理/特徴


EDSは試料に電子線が照射された際に発生した特性X線の電子エネルギーから元素と濃度を分析する手法です。

  • 元素分析(ポイント、ライン、マッピング分析)

分析事例


SEM-EDS:鉛とスズのマッピング・スペクトル分析
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SEM-EDS:鉛とスズのマッピング・スペクトル分析

 

 

 

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