ETV-ICP-OES｜電気加熱気化法型高周波誘導結合プラズマ発光分析
分析概略
ETV-ICP-MS（Electrothermal Vaporization ICP Optical Emission Spectroscopy：電気加熱気化法型高周波誘導結合プラズマ発光分析）はETV（電気加熱気化法）とICP-OESまたはICP-MSを組み合わせることにより、広範囲の微量・超微量レベルの試料を高感度で分析をすることができます。バルク試料に対応し分析に必要量は極微量です（mg程度）。また、微量試料は前処理を必要としません。
対象分野
半導体・自動車・航空宇宙・鉄鋼・エネルギー・医療
対象試料の事例
- グラファイト・炭素材料の純度分析
- セラミックス・SiC・Siの微量成分
- 固体試料の微量/超微量コンタミ
原理/特徴
- 試料は極微量（mg程度）
- 前処理不要
- 高感度分析
- フッ酸では溶けにくい試料を電気加熱気化法により分析可能（セラミック、グラファイトなど）
装置構成
分析事例
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ETV-ICP-MS：標準試料であるグラファイト（BAM-S009）、炭化ケイ素（BAM-S003）の微量成分分析 各元素の検出時間を可視化（検出元素：Al、B、Ca、Cr、Cu、Fe、K、Mg、Mn、Ni、Ti、V、Zr） |
ETV-ICP-OES：グラファイト（BAM-S009）、炭化ケイ素（BAM-S003）試料量（10/20/30mg）ごとの検出感度の比較 検体n=5で比較、相対標準偏差（RSD）は2.6～35.3%範囲内 |
ETV-ICP-OES：原子炉用グラファイト（NBG-18)・原子力グレードSiC内の揮発性の微量元素をGDMSと比較分析 ETV-ICP-OES・GDMSともに類似した結果が得られていることが分かる |
分析に適した試料量/形状
- 推奨量：極微量（mg程度）
- 形状：バルク/粉末/不定形
