Kr85リーク試験
分析概略
Kr85リーク試験（The Krypton 85 Leak Testing）は封止パッケージの気密性試験です。極めて試験時間が短く、一般的なHeリーク試験よりも微小なリークレートの評価が可能になります（＜10-12 atm cc /sec Air limits）。封止パッケージの気密性試験です。
*再委託サービス：再委託先 Oneida Research Services, Inc. (ORS)
対象分野
半導体・エレクトロニクス・自動車・航空宇宙
対象試料の事例
- 半導体・電子デバイス
- ハイブリットデバイス
- センサー
- 医療移植片
- MEMS（Siベース）など
用途事例
- 封止パッケージの気密性評価
原理/特徴
Kr85リーク試験はKr85（クリプトン85）を加圧して半導体デバイスのキャビティ内にトラップさせます。キャビティ内にトラップされた Kr85から放射される γ 線 を計測し、気密性を評価します。
- 短試験時間
- Heリーク試験よりも微小なリークレートの評価が可能（＜10-12 atm cc /sec Air limits）
