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Kr85リーク試験

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分析概略


Kr85リーク試験(The Krypton 85 Leak Testing)は封止パッケージの気密性試験です。極めて試験時間が短く、一般的なHeリーク試験よりも微小なリークレートの評価が可能になります(<10-12 atm cc /sec Air limits)。封止パッケージの気密性試験です。

*再委託サービス:再委託先 Oneida Research Services, Inc. (ORS) 

対象分野


半導体・エレクトロニクス・自動車・航空宇宙

対象試料の事例


  • 半導体・電子デバイス
  • ハイブリットデバイス
  • センサー
  • 医療移植片
  • MEMS(Siベース)など

用途事例


  • 封止パッケージの気密性評価

原理/特徴


Kr85リーク試験はKr85(クリプトン85)を加圧して半導体デバイスのキャビティ内にトラップさせます。キャビティ内にトラップされた Kr85から放射される γ 線 を計測し、気密性を評価します。

  • 短試験時間
  • Heリーク試験よりも微小なリークレートの評価が可能(<10-12 atm cc /sec Air limits)

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