Raman｜ラマン分光法分析

分析概略

Raman（ラマン分光法分析）は、化学構造の決定と振動分光法を使用した化合物の同定を可能にします。RamanはFTIRよりも優れた空間分解能を持ち、1µmの範囲までのより小さな寸法の分析を可能にします。RamanとFTIRは不明な有機材料の特定に適した分析手法です。

＊各分析手法の分析深さはSMART Chartからご覧いただけます。

半導体・エレクトロニクス・自動車・航空宇宙・鉄鋼・先端材料・エネルギー・メディカルデバイス

FTIRでは小さすぎて分析できない（1um）粒子をRamanで分析。SEMだと外観像のみでポリマーとは判別ができないが、Ramanを用いるとスペクトルよりポリマーと判明できます。

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Raman：炭素同素体の異なった結晶構造を区別し特定	Raman：SiGe上に堆積されたSiエピ膜の分析基板SiとGeの格子不整合によりひずみが発生	Raman：半導体結晶構造解析（AN334） Ramanは半導体の結晶構造を分析するのに有効である。構造・結合・乱れなど固体結晶格子の変化の解析に利用される。AN334のデータでは、結晶シリコン・ポリ結晶シリコン・非晶質シリコンに含まれる微結晶（μc-Si）のRamanスペクトルを表示。Ramanピークのシフトや非対称性、バンド幅は非晶質半導体の結合角の歪みや結晶の特徴を測定するのに効果的である。データでは多結晶シリコン中の結晶が25Åより大きくないことを示している。